锥形螺线泵腔并联无阀压电泵的实验研究

摘要

首先,提出了一种多泵腔并联、压电振子协同工作的锥形螺线泵腔并联无阀压电泵;其次,分析了锥形螺线泵腔并联无阀压电泵的工作机理,并推导了该泵的流量公式;最后,加工制作了锥形螺线泵腔并联无阀压电泵,并对其进行了流量和压差试验。试验结果表明:当驱动电压为160V、频率为10Hz时,流量达到最大,为21ml/min;当电压为160V、频率为8Hz时,压差达到最大,为40mm,从而验证了该泵的可行性。