非互易律光致抗蚀剂与负型黑底（待续）

摘要

利用非互易律光致抗蚀剂在低照度下曝光,其光化学反应速度急剧下降效应,不仅可以提高光刻工艺的分辨率,而且可通过选定必要的曝光条件,方便地制造出开口小于荫罩孔径的负型黑底管。