基于正弦调制的激光平面测量系统的研究

摘要

针对高精度的大平面测量,构建了一种基于正弦调制的激光平面测量系统.该系统以激光器(LD)为光源,位置敏感探测器(PSD)为光电探测器,通过柱面透镜扩束获得测量基准平面--激光平面.分析了影响系统测量精度的主要因素,提出采用光源正弦调制的方法,以提高测量系统的抗干扰能力.实验结果表明:该系统具有较高的测量精度和输出稳定性.