微纳加工技术的优势及其在电子器件领域中的应用研究

摘要

微纳加工技术在集成电路技术的应用中占据着重要的地位,为了满足相关工业领域的要求,需要寻找出新透镜、短光源、高精度的加工技术,而微纳加工技术就是其中的首选。本文主要针对微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用进行分析。