微机械制造中的微磨削加工技术

摘要

微机械加工一般包含有很多种材料去除过程，微磨削是在传统磨削的基础上，采用直径小于1mm的微磨棒，在桌面化数控微磨床上实现多种材料的三维微加工，鉴于加工后的工件能获得纳米级表面粗糙度的良好效果，微磨削技术已成功应用在光学元件、微透镜阵列以及反射光栅等微结构的加工中。对于硬脆材料及其它难加工材料，微磨削将取代传统的研磨抛光工艺进行超精密加工，成为一种新的加工技术。