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退火自动化上下料设备提升良品率的措施

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摘要

介绍了退火自动化上下料设备的功能,说明了该设备产生的不合格硅片的几种表现,分析了硅片产生不良的原因,详细说明了降低不良率采取的措施.

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来源
《山西电子技术》 |2018年第3期|10-11|共2页
作者
卫晓冲;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原030024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术在各方面的应用;
关键词
退火; 吸盘印; 划伤;

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