金属材料小面积样品的X射线荧光光谱仪测试研究

摘要

X射线荧光光谱仪可应用于除气体样品外的各种材料的成分测试.不但灵敏度高,且重现性好,在冶金、地质、电子等行业广泛应用.本文尝试解决XRF在应用过程中的小样品成分检测的部分问题.从试验结果来看,元素含量测试数据随试样面积变化较为明显.对于不能满足样品杯要求但试样面积＞ 225 mm2的小样品也可以用X射线荧光光谱法的NiFeCo软件得到准确可靠数据,扩大了X荧光光谱仪的工作测量范围.