关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究

摘要

谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述,简介其原理与类别,具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况,并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比,分析各自的特点,最后展望谐振式硅微结构压力传感器的发展前景。