多通道真空显控系统设计

摘要

本文介绍了一种基于STM32微控制器的多通道真空度显示与控制系统。该系统由STM32微控制器、信号调理电路、RS232通讯接口、LCD模块、真空规与上位机组成。基于此系统搭建四极质谱仪真空腔体测试平台,可控制8路真空进样阀的开关,同时显示、上传8个被测腔体的真空度数据,据此实现四极质谱仪真空部件的筛查与性能对比。与传统方案相比,所研制的真空显控系统具有较高的集成度、较低的成本和紧凑的体积,并提高了测试的自动化程度与可靠性。