四氟化硅制备方法的专利研究

摘要

四氟化硅（SiF4）作为电子与半导体工业的一种重要原料，随着多晶硅等行业的快速发展，其需求量越来越大，对四氟化硅（SiF4）的制备提出了更高的要求。简要分析了四氟化硅（SiF4）的制备方法和我国本土的专利申请现状，以期为未来的研究提供更好的发展方向。