干涉仪及其在光学检测中的应用

摘要

cqvip:干涉法是高精度检测的一种重要方法,它能提供精确的全视场表面的轮廓测试结果,因此成为光学高精度检测的主要方法。本文介绍干涉仪的原理及几种典型的干涉仪,重点介绍了目前广泛使用的美国ZYGO干涉仪,并给出了相应的装置原理图。最后介绍了干涉仪在光学检测中的应用。