真空残余气体分析器及其在贮槽中的应用

摘要

本文应用四极质谱计的工作原理来分析真空贮槽残余气体成分,科学地相对确定容器处于放气、泄漏的不定状态及残余气体的主要成分,从而提高产品质量和生产效率。图8表1参4。