耿锦启开启国产IC装备的梦想

摘要

@@ 2006年9月,北方微电子公司自主研发的100纳米高密度等离子刻蚀机在北京通过了科技部与北京市组织的项目验收.同时,北方微电子与知名的大型集成电路代工厂签订了刻蚀机的批量采购合同,这是我国国产主流集成电路制造核心设备第一次实现销售,2006年到2007年间,北方徼电子共有三台设备交付大生产线使用,设备运行稳定,2008年底前已收回第一笔回报.此前,从国外进口一台刻蚀机大约需要350万美元,而北方微电子公司自主研发的刻蚀机将这个价格降低到240万至250万美元之间.