基于差压传感的法兰微泄漏在线监测技术研究

摘要

综合分析了3类气体传感器在微泄漏在线监测的应用效果,研究基于微机电系统(MEMS)的差压传感检测技术,分析MEMS差压传感器性能,通过模拟法兰微泄漏实验得到差压传感器的响应特性,表明应用MEMS压差传感技术可以更为有效的监测法兰微泄漏,并具备低功耗、高灵敏度的优点,为法兰微泄漏监测系统的研发与应用提供依据。