一种新型的气体温控装置

摘要

介绍一种新型的气体温度控制装置,该装置融合了先进控制算法、加热冷却双作用微调技术、小型流体管路冷却技术、稳流技术、噪声控制技术等多项先进技术,能够为远距离被控对象输送变流量且温度精度为±0.1℃的受控气体,是解决半导体、医疗器械行业中设备内部高温稳定性问题的关键,是产业链上的核心部件之一。