陶瓷介质滤波器表面斑点分析及解决措施

摘要

为提高陶瓷介质滤波器的烧成良品率,采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析仪(EDS)对MgTiO_(3)-CaTiO_(3)(MCT)陶瓷介质滤波器置于刚玉-莫来石承烧板上烧成后出现的表面斑点进行了剖析。结果表明,在1300℃,MCT陶瓷介质滤波器与刚玉-莫来石承烧板接触点发生反应,生成2MgO·SiO_(2)和Al_(2)O_(3)·TiO_(2),形成异色斑点。基于对复合氧化物反应的热力学分析,在刚玉-莫来石承烧板工作面喷涂ZrO_(2)涂层,烧制的滤波器表面颜色均匀,无异色斑点产生。