用热CVD法超微粒子涂覆装置制取SiC-Si_3N_4

摘要

SiC和Si3N4作为高温材料引人注目.由于SiC在氧化性气氛中会升华，因此加入（低温下强度较差的）si3N。制成SiC—Si3N4复合粉体，使其在氧化性气氛中具有耐热性。但这种复合粉体烧结性差，为此，人们进行了各种探索，以期望它在原料粉体阶段就具有分散性，从而改善其烧结性。如探讨了纳米粉体的开发，以及电炉法、等离子法、激光法等多种SiC—Si3N4复合粉体的配制方法。