Double Temperature and Density Phenomenon in Grid Enhanced Plasma Source Ion Implantation for Inner Surface Modification of Tubes

著录项

• 来源
  《等离子体科学和技术（英文版）》 |2009年第5期|555-559|共5页
• 作者

  ZHANG Guling; WANG Jiuli; JIA Ying; ZOU Bin; YANG Size;

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• 作者单位

  School of Sciences Central University for Nationalities Beijing 100081 China;

  Institute of Physics Chinese Academy of Sciences Beijing 100080 China;

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 等离子体物理学;
• 关键词

• 入库时间 2022-08-19 04:32:06