The Effects of Chemical （isotropic） and Anisotropic Etching Processes on the Roughening of Nanocomposite Substrates

著录项

• 来源
  《等离子体科学和技术：英文版》 |2010年第006期|P.673-676|共4页
• 作者

  M. RADMILOVIC-RADJENOVIC; B. RADJENOVIC;

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• 作者单位

  Institute;

  of;

  Physics,;

  Pregrevica;

  118,;

  11080;

  Belgrade,;

  Serbia;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 TP212.1;
• 关键词

  纳米复合材料; 各向异性刻蚀; 蚀刻工艺; 粗化过程; 复合基板; 各向同性; 表面粗糙度; 进程;

  机译：纳米复合材料;各向异性刻蚀;蚀刻工艺;粗化过程;复合基板;各向同性;表面粗糙度;进程;
• 入库时间 2022-08-19 04:19:22