NiTi非晶薄膜的径向分布函数及结构分析

摘要

径向分布函数(RDF)是描述非晶态材料结构的重要工具,一般是通过对衍射强度的解析计算得到的。RAD程序是根据非晶材料X射线衍射数据计算其径向分布函数的集成程序。介绍了该程序的结构和应用方法,并采用RAD程序计算了采用磁控溅射法制备不同成分NiTi合金的径向分布函数,利用径向分布函数计算了非晶微结构参数。结果表明非晶薄膜中钛含量不同影响了非晶微结构参数。