基于数字全息显微的高分辨成像方法的研究

摘要

远场成像分辨率是数字全息显微技术应用于测量微纳米几何量的重要技术参数。高分辨成像对提高全息技术性能具有重要意义。本文分析了小孔结构在提高高频光收集效率、校正像差方面的优势,证明小孔结构具有提高成像分辨率的作用。通过在传统透射式数字全息光路中加入小孔结构,构成高分辨数字全息系统,对标准分辨率板进行实验。实验结果表明,成像弥散斑减小,成像分辨率突破衍射极限,得到提升,为实现数字全息的高分辨测量提供一种技术方法。