制备及钝化条件对多孔硅发光性能的影响

摘要

研究了氧化电流密度对多孔硅 (PS) PL 谱的影响。结果表明 ,随着氧化电流密度增大 ,PS的微晶 Si平均尺寸减小 ,且尺寸大的微晶 Si数量也减少 ,说明制备条件对钝化 PS的发光有影响 ;PS经适当的高温氧化处理后 ,其 PL 谱会发生明显变化 ;选用含有胺基的正丁胺 ,采用射频辉光放电法对 PS进行钝化处理 ,在一定程度上提高了 PS的发射强度伴随发光峰位的较大蓝移 ;其钝化 PS的荧光谱随钝化温度和钝化时间变化 ,说明钝化条件对钝化 PS的发光有直接影响。由此 ,可以通过调节制备和钝化条件来获得最大的发光效率和所需要的发光颜色。