微型反射式共焦光纤传感器研究

摘要

基于光学系统信息传输不变性原理 ,讨论了微型反射式共焦光纤传感器的高分辨率性质。该传感器的光纤末端头起到了共焦扫描光学显微镜的点光源和点探测器的功能 ,从而使视场减小 ,信噪比提高 ,抗干扰性增强。它独特的高轴向分辨率特性 ,可用于微观形貌、外形尺寸和曲面轮廓等方面的高精度检测 。