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熊瑛; 杨保和; 吴小国; 孙大智; 李明; 洪松;
天津理工大学光电信息与电子工程系和薄膜电子与通信器件天津市重点实验室;
纳米金刚石(NCD)薄膜; 微波等离子体化学气相沉积(CVD); O2; 刻蚀机理;
机译:在射频等离子体中刻蚀具有不同金属涂层的金刚石薄膜获得的金刚石纳米晶须的性能比较
机译:非金刚石碳刻蚀对高sp〜2键结合纳米晶金刚石薄膜场发射特性的影响
机译:非金刚石碳刻蚀对高sp〜2键纳米晶金刚石薄膜场发射性能的影响
机译:在乙炔气氛中通过离子束辅助沉积制备的类金刚石纳米复合薄膜:XPS分析
机译:微波等离子体化学气相沉积法在钛6铝4钒合金颞下颌关节假体上制备纳米晶金刚石薄膜。
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:化学气相沉积法制备粒径为10-30 nm的超纳米晶金刚石薄膜的体热稳定性和表面热稳定性
机译:纳米金刚石薄膜的晶界和力学性能
机译:等离子体处理含纳米晶金刚石碳层的制备方法及含纳米晶金刚石碳层的制备方法
机译:沸石纳米晶悬浮液,沸石纳米晶制备方法,沸石纳米晶悬浮液制备方法和沸石薄膜
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