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陈洪芳; 丁雪梅; 钟志; 谢站磊; 岳华;
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所;
哈尔滨工业大学航天学院通信工程系;
激光外差干涉; 非线性误差; 起偏器; 纳米测量;
机译:激光外差干涉法中非线性误差的合成模型
机译:外差式干涉仪中偏振分束器未对准引起的非线性误差的分析和验证
机译:非偏振分束器对外差式椭偏仪中测量误差的影响
机译:商业外差式干涉仪中使用基于外部腔二极管激光器的Fabry-Perot干涉仪的周期性误差特性
机译:通过干涉测量和外差相锁定方法共相配一系列分段激光器
机译:外差式激光干涉仪中由幻影反射引起的非线性误差及其与光学混合的耦合
机译:由于幽灵反射和其与外差激光干涉仪中光学混合引起的非线性误差
机译:利用共路激光外差干涉仪进行波前分割采样的亚埃循环非线性演示
机译:能够消除非线性误差的外差激光干涉仪的误差校正装置和方法
机译:带有可调谐激光器的外差式干涉仪装置,外差式干涉仪,比较干涉仪和参考干涉仪
机译:使用扩展的卡尔曼滤波器消除纳米尺度测量中出现的非线性误差的激光干涉仪补偿装置
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