CaAs对称耦合波导型光开关研究

摘要

本文根据双模干涉理论设计并研制了GaAs同质结材料对称耦合波导型光开关/光调制器。利用自对准工艺技术获得了良好的电极对称性,经测试器件消光比达20dB以上,开关特性良好。高速开关特性测试正在进行中。预计该器件在开关列阵、高速光调制方面有较广泛地应用。