激光诱导Y_1Ba_2Cu_3O_x超导靶等离子体发射光谱的研究

摘要

利用ＯＳＭＡ光谱测量方法对Ｎｄ：ＹＡＧ激光烧蚀沉积Ｙ－Ｂａ－Ｃｕ－Ｏ超导薄膜过程中等离子体发射光谱的研究表明，靶表面喷出的粒子中存在着Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ原子和离子以及氧化物光谱，其中Ｃｕ离子的光谱很少。