CO2激光对硅片加热的动力学研究

摘要

本文测量了不同激光功率密度下硅片的温升和透射率随辐照时间的变化,指出P.H.Tsien等人的结果只是一个特殊情形,最后用自由载流子理论对实验结果给予了解释。