用于下一代数据中心的改进型单行载流子光探测器的研究

摘要

本文研究并提出一种具有电场增强的混合吸收层结构的单行载流子光探测器(electric-enhanced modified uni-traveling carrier photodetector,EE-MUTC-PD)。该结构通过吸收区渐变掺杂增强了光探测器吸收区电场,将吸收区分为部分耗尽和耗尽两个部分,使得光生电子漂移通过吸收区的同时光生空穴会在弛豫时间内被收集,有效解决了单行载流子光探测器(uni-traveling carrier photodetector,UTC-PD)在低光功率注入下不能保持较高带宽的问题,同时实现了高响应度,可用于下一代800 Gb/s光通信系统中。