一种基于梳状滤波器的固体腔厚度测量方法

摘要

针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高△v=200 GHz,△d≤13.37 nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法.该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件--未镀膜层固体腔(SiO_2)的高精度厚度检测.实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测.