光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高

摘要

用公式推导说明了影响光电定角比相法检测圆光栅刻划误差测量精度的因素,并用两台测量精度不同的仪器做了实验验证.文中提出,在仪器稳定,主轴回转精度高的前提下,再采用分光裂相法读数,异或门鉴相、"内插法"、"对称联系法"等措施,就能获得较高的测量精度.