集成电路X射线图像的多正则化图像复原

摘要

针对集成电路X射线图像噪声强烈、对比度低的特点,本文充分考虑图像边缘细节和平滑区域在细节保持和噪声去除上的不同需求,提出一种多正则化图像复原方法。该方法基于快速傅里叶变换下的高斯高通滤波和高斯低通滤波获取集成电路X射线图像的边缘细节结果和平滑滤波结果作为正则化图像复原的观测图像,充分利用l1正则项在细节保持以及全变分(Total Variation,TV)正则项在噪声去除上的优越性设计了一种TV-l_(1)混合正则化模型,解决整幅图像采用单一正则化项造成的细节过度平滑缺失或去噪效果差的问题。标准自然光图像和集成电路的X射线图像两个系列的实验表明了本文方法能够在有效去除噪声的同时保留更多的细节信息,为后续集成电路的缺陷检测奠定基础。