用于光盘存贮器沟槽参数测试的光学衍射方法(英文)

摘要

光盘存贮器有非常精密的沟槽。用衍射法进行测量,由于要引用大衍射角计算,沟槽的菲涅尔系数不再恒定,因此应用很广的弗朗和费理论不适于描述光盘沟槽的衍射。这种情况下,我们提出了一个研究此种衍射的方法,进一步讨论了一些基本因素。例如:沟槽形状的影响,基底多重反射对衍射图样的影响,特别是当基底不完全平行时的影响等等。最后,建立了一种测量沟槽参数的技术。