X射线激光器的近况

摘要

最近把紫外激光作为光源,用于真空紫外激光的清洗和加工,物质表面等广泛应用短波长激光器,目前正在研究比100nm更短波长的极短紫外领域中的激光器(XUY),使用起来特别方便,不过,在物质加工、测量等方面又开创新的应用,例如,在光电子分光,X射线显微镜、光化学、半导体工艺等方面应用.