测量微小气压降的微电子传感器

摘要

在乌克兰的基辅一家小型企业“CE-HCOP”的O.M.等研究用于测量微小气压降的微电子传感器.他们探讨了高灵敏度微电子热线风速测量传感器的性能,它是用薄膜工艺制作的.传感器能测量在0.004—1500Pa范围的小气压降,或10^(-4)—40ml/s的气流速度.专门研制的传感器仪表模拟变换器在7ms动作速度下,保证在微小气压降区的灵敏度在120mV/Pa水平.自动化的动态工作台使得能够在0.1—500Pa范围内校准传感器.