利用同步辐射扭摆器光源研究X射线同轴轮廓成像质量

摘要

利用北京同步辐射光源研究了准平行束X射线同轴轮廓成像中影响成像质量的若干因素.结果表明,同步辐射光束在垂直方向能获得更好的边缘增强效果.尺寸较大的样品能获得更高的衬度.随着样品到探测器距离的增大,衬度增大,但存在一个最佳距离.高分辨率的探测器可以获得较高的衬度和较好的边界锐度.