超声低温等离子体在太阳能电池表面的改性作用

摘要

传统硅基太阳能制备工艺生产出的多晶硅太阳能电池的光电转换效率在17%左右[1],难以突破。利用超声低温等离子体设备对电池表面进行处理,结果显示,经过处理后,多晶硅太阳能电池的峰值功率与光电转换效率提升了5%左右。由此推测,利用超声低温等离子体处理多晶硅电池表面的方法,具有使氮化硅表面钝化、去除磷硅玻璃、清洗电池片以及优化表面绒面等作用,因此,利用该技术可提升太阳能电池片的产品性能。