极端环境下压力传感器的研究进展

摘要

极端环境下压力传感器在喷气发动机、火箭、导弹、卫星等国防军工领域有着广阔的应用前景.首先对国内外可应用于极端环境压力传感器的关键技术:SOI制造技术、溅射薄膜技术、金刚石薄膜技术、声表面波无线无源传感技术、SiC高温压力传感技术及其应用情况做回顾论述,并针对各自的主要优缺点进行对比分析和讨论,最后展望了极端环境压力传感器的发展趋势.