BiFeO3纳米纤维压电式压力传感器的制备工艺研究

摘要

以铁酸铋(BiFeO3,BFO)作为压力敏感材料,利用其压电特性,将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等MEMS加工工艺制备的硅基底片相结合,设计工艺流程并制备了BFO纳米纤维压电式压力传感器,得到质量较高的传感器样片.分析工艺流程,得到工艺顺序为先刻蚀硅腔260 μm,接着制备电极,再刻蚀硅腔90 μm,最后纺丝纳米纤维;在一定条件下纤维取向最优的实验参数是推进速度、电压、接收距离和极板间距分别为0.3 mL/h、19 kV、14 cm和10 cm,为铁电材料在微器件上的应用提供了参考.