一种亚微米阵列激光器混合集成倒装焊技术

摘要

应用于光通信行业的硅光技术,因其高集成、规模化、低成本等优势,近年来发展十分迅速。然而,由于硅材料本身不能发光,如何将光导入硅芯片始终是一大难题。目前较为高效且可行的方案是Ⅲ-Ⅴ族器件与硅光芯片的混合集成技术。本文介绍一种将Ⅲ-Ⅴ族激光器与硅芯片混合集成的倒装焊技术,除了解决光芯片之间光的低损耗耦合之外,通过高精度倒装焊实现了Ⅲ-Ⅴ族激光器与硅芯片的亚微米无源邦定。该技术具有工艺简单、精度优良、适合量产的特点,为混合集成技术的商业化打下坚实基础。