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检定200mm以下线纹尺的干涉装置

     

摘要

正 全苏计量科学研究院的科研生产联合体研制成检定200mm 以下一等标准线纹尺的干涉装置。该装置用于检定ΓОСТ12069—78规定的玻璃和金属1、2型线纹尺,以及测微对象。在研制装置时,利用了以干涉条纹计数法测

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