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具有弹性膜片的电容位移传感器

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正 1.前言许多光学、电感和电容技术已广泛用于各种长度的精密测量中,即微位置测量或固体的热膨胀试验。电容位移位感器在灵敏度和简单性方面是最好的。White 所描述的第一个电容传感器用于测量热膨胀,该传感器在原理上为

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来源
《现代测量与实验室管理》 |1992年第3期|P.20-2149|共3页
作者
P.Roth; 袁凤;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
电容位移传感器; 测量传感器; 弹性膜片; 平板电容器; 弹性变形; 环形电极; 电容传感器; 位移位; 精密测量; 热膨胀试验;

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