可挠线圈作定子结构的微型永磁马达的制作与研究

摘要

cqvip:设计和制作了一种直径为1.5mm圆筒型微型永磁同步马达,应用永磁体钕铁硼为马达转子,马达定子采用可挠线圈与导磁外壳相结合的结构;可挠线圈的制作采用准LIGA工艺,利用厚层光刻胶KMPR1050制作微模具,以电铸方法制作线圈;研制了微型马达样机,测试结果显示该微型马达最高转速可达7000r/min,轴偏摆为22μm,为微型永磁同步马达进一步设计与开发提供了参考价值。