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高斯圆束矢量扫描作图图形剂量计算方法

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摘要

使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数,结合矢量扫描作图方式,推导出图形各关键位置的剂量计算公式,并使它们在图形邻近效应校正处理中得到实际应用.

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来源
《微细加工技术》 |2001年第4期|16-20|共5页
作者
覃志国; 刘志杰;
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作者单位

信息产业部电子第四十八研究所,;

信息产业部电子第四十八研究所,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
高斯圆束; 矢量扫描; 邻近效应; 背散射; 前散射; 能量分布密度函数;

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