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EDS分析中微区法向的确定方法

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摘要

利用扫描电镜上安装的X线能谱仪,研究样品的微区法向不能准确确定时对定量分析结果准确性产生的影响程度,提出了一种确定样品微区法向的方法.实验表明该法有利于定量分析准确度的提高.

著录项

来源
《微细加工技术》|2001年第2期|53-56|共4页
作者
戴宏; 张中明; 陈尔纲;
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作者单位

云南大学物理系,昆明 6500091;

云南大学物理系,昆明 6500091;

云南大学物理系,昆明 6500091;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
EDS; 微分析; 准确度; 接收角;

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