微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究

摘要

进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电压作用下,采用复合成分的电解液,选取合适的电化学加工参数,可获得理想的加工效果.试验结果表明,当加工电压幅值为10 V,初始间隙为0.1 mm时,所加工的超薄微细工件的精度可控制在10μm以内.该方法是微细薄片零件加工的一种有效方法.