基于自抗扰控制器的6-DOF磁悬浮平台悬浮高度控制

摘要

介绍一种应用于半导体光刻、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台.针对该平台的悬浮部分是一个具有参数摄动、输入耦合的复杂系统,采用自抗扰控制器的控制方法,实现对内部扰动和外部扰动的补偿.仿真结果表明,这种控制方案有较好的动态、静态特性及鲁棒性.