光纤F-P腔压力传感器的研究进展

摘要

光纤F-P腔压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域.国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究.本文介绍了光纤F-P腔压力传感器的研究进展,对全光纤结构F-P压力传感器、激光加工微型光纤压力传感器、二氧化硅膜片压力传感器的结构和制作过程进行了总结,并对利用MEMS制作压力传感器的工艺进行了详述,对比分析了不同加工工艺下传感器的性能及其优缺点.