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盲孔深度测量方法

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摘要

文章介绍一种简便的微小盲孔深度测量方法.在普通的测量粗糙度的仪器一光切显微镜上,利用光切原理测量0.8～80微米的微小盲孔深度,该方法简便、测量精度较高.

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来源
《计量与测试技术》|2001年第6期|12-12,14|共2页
作者
徐志玲;
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作者单位

中国计量学院计量技术工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类长度计量;
关键词
微小盲孔深度; 光切; 测量;

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