大型镜面大误差范围相位恢复在位测量研究

摘要

研究了一种基于相位恢复技术的新型镜面测量方法,用于测量大型光学镜面研抛加工过程中较高较陡的面形误差,为光学镜面加工中差收敛的过渡阶段提供可靠的定最在位测量方法.文中构建了基于离焦光场的相位恢复测量系统并设计适用于大误差检测的相位恢复算法.分析了各种误差因素以及系统测精度以及测量范围.对一面口径150mm球面反射镜进行丁在位测量实验.相位恢复测量与干涉测量结果一致.理论分析和实验都表明该方法切实可行,检测范围和相对精度满足加工要求,具有良好的应用前景.